熱壓（Thermo-Compression, TC）鍵合技術(shù)指通過(guò)加熱與加壓協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)金屬間的冶金結(jié)合，盡管其部分應(yīng)用場(chǎng)景已被更高效的方法替代，但熱壓鍵合所蘊(yùn)含的參數(shù)優(yōu)化邏輯、界面科學(xué)認(rèn)知及質(zhì)量控制理念，至今仍深刻影響著現(xiàn)代封裝工藝的開(kāi)發(fā)與評(píng)價(jià)體系。
作為深耕材料測(cè)試與工藝分析領(lǐng)域的團(tuán)隊(duì)，科準(zhǔn)測(cè)控始終關(guān)注封裝技術(shù)中基礎(chǔ)而關(guān)鍵的課題。本文將從技術(shù)原理出發(fā)，系統(tǒng)解析熱壓鍵合的經(jīng)典參數(shù)設(shè)置，并探討其如何通過(guò)科學(xué)量化與精準(zhǔn)測(cè)試，持續(xù)為現(xiàn)代封裝工藝提供啟示與支撐。
一、熱壓鍵合核心參數(shù)
熱壓鍵合的質(zhì)量主要取決于三個(gè)關(guān)鍵參數(shù)的協(xié)同作用：溫度、時(shí)間與壓力。對(duì)于經(jīng)典的25μm金絲在鋁或金焊盤上的鍵合，經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證的優(yōu)化參數(shù)組合為：
溫度：300℃
這一溫度能有效促進(jìn)Au與Al原子間的相互擴(kuò)散，形成穩(wěn)定的金屬間化合物層，是實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合的能量基礎(chǔ)。同時(shí)，它平衡了反應(yīng)速率與熱損傷風(fēng)險(xiǎn)，避免溫度過(guò)高導(dǎo)致器件性能退化或界面過(guò)度脆化。
時(shí)間：0.2秒
這是保證原子充分?jǐn)U散形成連續(xù)界面層所需的最短有效時(shí)間。該時(shí)長(zhǎng)在確保鍵合強(qiáng)度的前提下，提升生產(chǎn)效率。
壓力：100–125克力 (gf)
足夠的壓力能破除金屬表面的微觀氧化層與輕微污染物，實(shí)現(xiàn)純凈金屬間的緊密接觸。
此壓力范圍在促進(jìn)塑性變形以增大接觸面積的同時(shí)，避免了對(duì)脆弱芯片結(jié)構(gòu)的機(jī)械損傷。
這三個(gè)參數(shù)并非獨(dú)立作用，而是構(gòu)成一個(gè)精密的工藝窗口。例如，在一定范圍內(nèi)，提高溫度可以適當(dāng)縮短鍵合時(shí)間；而增加壓力則有助于在稍低溫度下達(dá)成同樣的鍵合效果。這種多參數(shù)協(xié)同優(yōu)化的思想，是現(xiàn)代封裝工藝開(kāi)發(fā)的基石。
常見(jiàn)熱壓鍵和臺(tái)結(jié)構(gòu)
二、參數(shù)的深層科學(xué)：應(yīng)對(duì)現(xiàn)實(shí)挑戰(zhàn)的工程設(shè)計(jì)
上述參數(shù)組合的穩(wěn)健性，尤其體現(xiàn)在其對(duì)實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境挑戰(zhàn)的包容度上：
1. 污染容忍機(jī)制：當(dāng)焊盤表面存在微量有機(jī)污染物時(shí)，300℃的高溫可使其熱分解或揮發(fā)，同時(shí)鍵合壓力能將其機(jī)械排出界面。0.2秒的鍵合時(shí)間則為這一凈化過(guò)程提供了窗口。這使得該參數(shù)設(shè)置在非理想條件下仍能保持較高的鍵合成功率與強(qiáng)度。
2. 界面反應(yīng)控制：在300℃下，Au-Al系統(tǒng)會(huì)形成多種金屬間化合物（如AuAl?、Au?Al等）。0.2秒的鍵合時(shí)間被精確控制，以形成一層均勻、連續(xù)且厚度適中的界面化合物層。這層化合物是鍵合強(qiáng)度的主要來(lái)源，但過(guò)厚則會(huì)變脆。經(jīng)典參數(shù)正在于取得強(qiáng)度與韌性平衡。
3. 工藝穩(wěn)定性基礎(chǔ)：這一經(jīng)過(guò)充分驗(yàn)證的參數(shù)組合，為早期的大規(guī)模生產(chǎn)提供了至關(guān)重要的可重復(fù)性與一致性，確立了通過(guò)嚴(yán)格控制有限幾個(gè)關(guān)鍵變量來(lái)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量生產(chǎn)的工程范式。
三、從經(jīng)典到現(xiàn)代：熱壓鍵合的技術(shù)遺產(chǎn)
熱壓鍵合最重要的遺產(chǎn)之一，是推動(dòng)了量化測(cè)試與工藝優(yōu)化閉環(huán)的建立。為了評(píng)價(jià)其鍵合質(zhì)量，焊球剪切測(cè)試被廣泛發(fā)展和標(biāo)準(zhǔn)化。通過(guò)剪切力值這一量化指標(biāo)，工程師得以反向精確調(diào)整溫度、時(shí)間、壓力參數(shù)，形成了“測(cè)試-分析-優(yōu)化"的科學(xué)工藝開(kāi)發(fā)流程。這一數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的辦法，已融入當(dāng)今任何封裝技術(shù)的研發(fā)體系。
此外，對(duì)熱壓鍵合界面失效模式（如空洞、弱界面層、過(guò)度脆化）的深入研究，為后續(xù)所有鍵合技術(shù)的可靠性評(píng)估與失效分析積累了最初的知識(shí)庫(kù)與評(píng)判標(biāo)準(zhǔn)。
熱壓鍵合的歷史表明，工藝的進(jìn)步始終離不開(kāi)對(duì)關(guān)鍵參數(shù)的精確界定與測(cè)量。科準(zhǔn)測(cè)控所提供的微電子封裝專用力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，正是承襲了這一核心理念，為現(xiàn)代封裝工藝的開(kāi)發(fā)與質(zhì)量控制提供關(guān)鍵工具，通過(guò)測(cè)量技術(shù)與數(shù)據(jù)分析方案，將這種工程智慧延續(xù)至今，助力業(yè)界在不斷演進(jìn)的材料、結(jié)構(gòu)與工藝中，持續(xù)探索并鎖定那個(gè)通往可靠性的“工藝窗口"。
